Sistemi di evaporazione
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Semplicità e precisione sono le principali caratteristiche che contraddistinguono questa tecnologia PVD.
I sistemi di evaporazione PVD Kenosistec sono costituiti da una camera di processo cilindrica o cubica, che può essere dotata di diverse sorgenti di deposizione: celle termiche, ad effusione – progettate specificamente per perovskiti e materiali organici – e sorgenti e-beam.
I sistemi di evaporazione possono essere attivati con diverse funzionalità:
- singola e/o co-evaporazione
- riscaldamento del supporto fino a 800°c
- lon beam etching e lon beam (deposizione assistita)
L’apparecchiatura, inoltre, può essere fornita con porta-substrati doppia rotazione, flat o dome
- Per velocizzare il caricamento della camera principale, è possibile aggiungere una camera load-lock – ovvero una camera interconnessa mediante un meccanismo di trasferimento del vuoto. Quest’ anticamera è necessaria per garantire la continuità del vuoto e non disperderlo.
- preriscaldamento dei campioni e/o per trattamento al plasma.
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